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近日，上海集成电路研发中心基于国内12英寸生产线40nm标准CMOST艺平台开发出了最小线宽为10nm的多晶硅纳米线场效应管生物芯片，芯片对miRNA标准样品的检测灵敏度可达1fM，
上海集成电路研发中心多晶硅纳米线场效应管生物芯片开发成功
【摘 要】
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近日，上海集成电路研发中心基于国内12英寸生产线40nm标准CMOST艺平台开发出了最小线宽为10nm的多晶硅纳米线场效应管生物芯片，芯片对miRNA标准样品的检测灵敏度可达1fM，
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2013年1期
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