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讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计。通过对多臂梁式结构RF—MEMS开关的力学性能和电学性能进行有限元仿真和优化，开关的弹性系数为17．63N／m。在10GHz的工作频率下，此RF—MEMS开关驱动电压为36．5V，移相器的插入损耗小于9dB8
X波段移相器中低弹性系数RF-MEMS开关的研究
【摘 要】
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讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计。通过对多臂梁式结构RF—MEMS开关的力学性能和电学性能进行有限元仿真和优化，开关的弹性系
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2010年9期
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