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<正> 一、引言 GaAs IC是微电子发展的新领域。自1970年以来,GaAs FET在微波领域应用广泛,单片GaAs电路(MMIG)经过十多年的研究开发已初具产业规模。低噪声MMIC已进入40GHz,功率MMIC离端进入20GHz。移相器、模拟电子开关等产品也相继进入销售市场。 GaAs IC以极宽的频谱(0.05~300GHz直至光波)、低功耗,耐高温、抗辐照、高速、低噪声等特点,在与硅IC相竞争中不断发展。目前美国已有几十家公司从事GaAs IC制造,日本也有十多家公司从事GaAs I