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通信收发机、天线等无线设备的发展趋势是高性能、小体积、低成本.微电子机械系统技术在这一趋势中显现了技术潜力.本文阐述了RF MEMS技术的现状.
RF MEMS技术
【摘 要】
：
通信收发机、天线等无线设备的发展趋势是高性能、小体积、低成本.微电子机械系统技术在这一趋势中显现了技术潜力.本文阐述了RF MEMS技术的现状.
【机 构】
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电子13所
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2002年1期
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