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MICROSTRUCTURES AND MECHANICAL PROPERTIES OF Ti(C, N) FILMS DEPOSITED BY PEMSIP
MICROSTRUCTURES AND MECHANICAL PROPERTIES OF Ti(C, N) FILMS DEPOSITED BY PEMSIP
来源 :中国有色金属学会会刊:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qrdao
【摘 要】
:
1INTRODUCTIONPlasmaEnhancedMagnetronSputeringIonPlating(PEMSIP)isanewkindofPhysicalVaporDeposition(PVD),whichbasedontraditio...
【作 者】
:
Li
Sheng
Wang
Yukui
Wu
En
【机 构】
:
CentralSouthUnivofTechnology
【出 处】
:
中国有色金属学会会刊:英文版
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
PEMSIPinterlayeradhesion
strengthcrystalline
ORIENTATION
RELATIONSHIP
PEMSIPinte
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1INTRODUCTIONPlasmaEnhancedMagnetronSputeringIonPlating(PEMSIP)isanewkindofPhysicalVaporDeposition(PVD),whichbasedontraditio...
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