【摘 要】
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以体硅为衬底，采用微机械加工技术（MEMS）制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针，用于记录神经电信号．从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑，制作了以二氧化硅／硅（SiO2
【机 构】
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中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室
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以体硅为衬底，采用微机械加工技术（MEMS）制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针，用于记录神经电信号．从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑，制作了以二氧化硅／硅（SiO2／Si）为主体的微探针，并详述了其具体制作工艺流程．扫描电镜（SEM）照片显示微探针针长3mm、针宽100μm、针厚约为20μm，各个记录点直径10μm、间距120μm，实现了各通道之间良好的信号隔离．微探针距离针尖1mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄，同时针尖锥角为6°，此种结构有利于减小植入时对脑组
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