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在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上，用所测不同样品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪对表面空间波长的带限回应关系。对由光学轮廓仪不同带宽限制内测量元件表面粗糙度有不同回应所引起不同偏差的解决办法提出了几点建议。
光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究
【摘 要】
：
在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上，用所测不同样品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪对表面空间波长的带限回应关系。对由光学轮
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
：
光学学报
【发表日期】
：
1998年12期
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