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COIL用变形反射镜介质反射膜

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：SB502

【摘 要】

：

报道ＣＯＩＬ激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验。在真空镀膜机内制备了膜系Ｓｕｂ／Ａｇ（ＳｉＯ２／ＨｆＯ２）＾４／ａｉｒ和Ｓｕｂ／Ａｇ（ＹｂＦ３／ＺｎＳ）＾３／ａｉｒ，反射率分别为９９．９０％和９９．８７％。在经历１０＾９次循环后变形镜物理特性无变化。研究了ＣＯＩＬ激光辐射下热畸变和损伤特性。分别在

【作 者】

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熊胜明 唐晋发 

【机 构】

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中国科学院光电技术研究所,浙江大学光电信息工程学系光电子薄膜研究所

【出 处】

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强激光与粒子束

【发表日期】

：

2000年1期

【关键词】

：

变形镜 激光反射膜 膜层应力循环 COIL deformable mirrors laser coatings stress cycle of coatings 

【基金项目】

：

国家 8 63激光技术领域资助课题

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报道ＣＯＩＬ激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验。在真空镀膜机内制备了膜系Ｓｕｂ／Ａｇ（ＳｉＯ２／ＨｆＯ２）＾４／ａｉｒ和Ｓｕｂ／Ａｇ（ＹｂＦ３／ＺｎＳ）＾３／ａｉｒ，反射率分别为９９．９０％和９９．８７％。在经历１０＾９次循环后变形镜物理特性无变化。研究了ＣＯＩＬ激光辐射下热畸变和损伤特性。分别在功率密度为１．５２ｋＷ／ｃｍ＾２和１．１８ｋＷ／ｃｍ＾２的ＣＯＩＬ激光辐照下，这两种膜系的变形镜波前

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