碳纳米管薄膜场效应晶体管的初步研究

来源 :景德镇高专学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wrothnpc
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硅电子器件是微电子科技中最重要的一类器件,它对二十世纪的科技发展起了重要的影响。但是小型化,高速,低能耗和散热的问题,使硅器件越来越难满足发展的需求。碳以很多形式出现,如金刚石,石墨,富勒烯和纳米管,无定型碳等。和氢结合以后,可以得到一系列的有机物。碳基材料范围很广,包括小分子和聚合物,它们包括绝缘体,半导性能和导电聚合物,具有开关性能,具有超导性能和磁性能等。将来碳基电子将有可能取代硅电子器件。固态碳有两种成键方式,sp^3和sp^2成键形式。在它的妒成键形式中,如富勒烯和石墨,碳是半导体性能的。富勒烯
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