FePt薄膜氧化的电子显微学表征

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电子束蒸发沉淀法制备的Fe-Pt多层膜在N2气氛下经550℃退火可获得有序l10-FePt相.截面样品形貌像表明退火600s的样品形成了双层结构,样品选区电子衍射谱、X射线能谱及电子能量损失谱中O-K边吸收峰形状分析表明该样品的上层结构主要为尖晶石相Fe3O4的氧化产物,下层结构主要为有序L10-FePt相.由于Fe的选择性氧化造成FePt相的成分偏离设计要求,从而对FePt超薄膜的磁学性能产生很大影响.
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