论文部分内容阅读
在简要介绍多层互连材料的基础上，论述了若干种IC芯片制备中的多层互连技术，包括“Cu线＋低k双大马士革”多层互连结构、平坦化技术、CMP工艺、“Cu＋双大马士革＋低k”技术、插塞和金属通孔填充工艺等，并提出了一些多层互连工艺中的关键技术措施。
VLSI芯片制备中的多层互连新技术
【摘 要】
：
在简要介绍多层互连材料的基础上，论述了若干种IC芯片制备中的多层互连技术，包括“Cu线＋低k双大马士革”多层互连结构、平坦化技术、CMP工艺、“Cu＋双大马士革＋低k”技术、插塞和
【机 构】
：
江苏大学电气与信息工程学院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2006年11期
其他文献
教育部在最近发布的《中小学生守则》和《中小学生日常行为规范》中。增加了“诚实守信”等7项新内容。这对于培养学生诚实待人、讲信誉守信用、树立责任心等方面，有着极大的
记忆是智慧之母。英语学习者，若记不住大量词汇，学好语言是不可能的。要想拓宽词汇量，不仅要持之以恒，而且还要通过对意义的认知来维持一定的动机水平，同时更要讲究学习的技巧、方
蔡元培先生在《教育大辞书》中指出“学生所学各科无不于智育作用中含有美育之元素。”作为审美的范畴和人类文明的成果，自然美、社会美、艺术美及科学美在中学各学科教材中得
研究了高质量的Ga、Mn共掺ZnO外延薄膜的电子结构和光学特性,这些薄膜通过MOCVD沉积在蓝宝石(0001)面上。结果显示单Mn掺杂时的样品呈现高阻p型,Ga和Mn共掺时呈现n型,而载流
对于心理辅导的认识和实施 ,专家和学者各抒己见。我们认为学校心理辅导 ,是指教育者运用心理学、教育学、社会学、行为科学乃至精神医学等多种学科的理论与技术 ,通过集体辅
在普通高中开展研究性学习，是新课程改革的重要组成部分。中学生研究性学习开展的成功与否，首先取决于研究性课题的选题是否适当。我们置身于包罗万象的世界中，却又似乎觉得一切
素质教育中，弘扬民族优秀文化传统应是其中的重要内容。但就现在的情况看，学校教育中忽视或淡化民族优秀文化传统教育的情况很严重。有感于此，笔者仅就民族优秀文化传统教育的意
近年来人们对小学教学质量发出了种种议论。有人报怨，认为小学教学质量下降了，如有些中学抓住语数两科不足100分的小学毕业生上初中为例，对小学教学质量提出了指责。有人担忧，认
可制造性设计（DFM）已经发展成为优化通晓制造技术设计中的有效工县，它包含从理论、规则到工具的整体应用来提升从设计到硅片的流程。基于制程模型的光刻规则检查（LRC），可查出没被设