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VLSI芯片制备中的多层互连新技术
VLSI芯片制备中的多层互连新技术
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lgs0519
【摘 要】
:
在简要介绍多层互连材料的基础上,论述了若干种IC芯片制备中的多层互连技术,包括“Cu线+低k双大马士革”多层互连结构、平坦化技术、CMP工艺、“Cu+双大马士革+低k”技术、插塞和
【作 者】
:
成立
李加元
李华乐
李岚
王振宇
【机 构】
:
江苏大学电气与信息工程学院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
集成电路
铜互连
低K介质
双嵌入(双大马士革)工艺
淀积
化学机械抛光
IC
Cu interconnect
low-k dielectric
dual
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在简要介绍多层互连材料的基础上,论述了若干种IC芯片制备中的多层互连技术,包括“Cu线+低k双大马士革”多层互连结构、平坦化技术、CMP工艺、“Cu+双大马士革+低k”技术、插塞和金属通孔填充工艺等,并提出了一些多层互连工艺中的关键技术措施。
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