【摘 要】
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<正> 互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器是金属氧化物半导体(MOS、电荷耦合器件CCD)、电荷注入器件(CID)、固体图像传感器问世之后的又一新型器件,最初是70年代在NASA的J
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<正> 互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器是金属氧化物半导体(MOS、电荷耦合器件CCD)、电荷注入器件(CID)、固体图像传感器问世之后的又一新型器件,最初是70年代在NASA的Jet PropulsionLaboratory(JPL)发明的,发明初期,由于受集成电路设计和工艺水平的限制,图像质量差,而没有得到重视。到了80年代,英国爱丁堡大学成功地开发出了世界第一块单片CMOS图像传感器,为其实用化开辟了道路。进入90年代后,随着大规模集成电路及其制造技术进入亚微米阶段,CMOS图
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