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文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D图像或光学可变图像的制作,研制了大幅面3D图像激光光刻系统,光变图像分辨率可达5080dpi,平均运行效率达8000dots/s(1270pdpi)以上。给出了实验结果。
基于SLM的三维图像激光光刻系统的研制
【摘 要】
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文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D图像或光学可变图像的制作,研制了大幅面3D图像激光光刻系统,光变图像分辨率可达50
【机 构】
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苏州大学信息光学工程研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2003年05期
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