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随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高。作者详述了超纯水的制造工艺及各个环节中所用不同工艺设备的对比。同时,还详细介绍了超纯水工艺流程中的节能减排措施。
半导体行业超纯水制造技术
【摘 要】
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随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高。作者详述了超纯水的制造工艺及各个环节中所用不同工艺设备的对比。同时,还详细介绍了
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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工业水处理
【发表日期】
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2010年05期
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