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在一台УВНИПА-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取TiN-Ti-DLC、及其含有软金属Cu或PTFE覆盖膜的多层复合涂层.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.结果表明,以TiN和DLC膜为主体的多层复合涂层具有较高的摩擦学特性,过渡金属钛层、软金属和聚四氟乙烯覆盖层可以降低摩擦系数33%～50%,对磨擦表面磨损减少90%.