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讨论了适用于ＧＧＧ单晶体胶体软磨料抛光液的作用原理、组成及制备方法．用正交试验法确定影响ＳｉＯ２胶体的诸因素──温度、ＣａＣｌ２浓度及加入量、Ｎａ２ＳｉＯ３浓度的最佳配合．
GGG单晶的胶体软磨料抛光液的制备研究
【摘 要】
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讨论了适用于ＧＧＧ单晶体胶体软磨料抛光液的作用原理、组成及制备方法．用正交试验法确定影响ＳｉＯ２胶体的诸因素──温度、ＣａＣｌ２浓度及加入量、Ｎａ２ＳｉＯ３浓度的最佳配合．
【机 构】
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西北工业大学
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
：
1994年4期
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