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在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响
在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响
来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ahclgc
【摘 要】
:
CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用.介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe
【作 者】
:
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
罗运良
【机 构】
:
国家广播电影电视总局,中国科学院,北京三信时代信息公司
【出 处】
:
液晶与显示
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
烧结氧化
Se气氛
CdSe靶
真空微电子
平板摄像管
硒气氛
六角形结构
硒化镉靶
靶面材料
晶格结构
vacuum microelectronics fla
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CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用.介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果.
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