【摘 要】
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研究了Ti掺杂对磁控溅射类金刚石（DLC）薄膜附着力及硬度的影响，同时在Ti掺杂类金刚石（Ti-DLC）薄膜的基础上，通过引入Ti应力缓和层制备了Ti／Ti-DLC／Ti／Ti-DLC……软硬交替多层薄膜，研究
【机 构】
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西南大学材料科学与工程学院,等离子工学研究所
【基金项目】
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基金项目：重庆市科技攻关计划资助项目（2008AC4017）致谢：感谢教育部留学回国人员科研启动基金项目的大力资助!
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研究了Ti掺杂对磁控溅射类金刚石（DLC）薄膜附着力及硬度的影响，同时在Ti掺杂类金刚石（Ti-DLC）薄膜的基础上，通过引入Ti应力缓和层制备了Ti／Ti-DLC／Ti／Ti-DLC……软硬交替多层薄膜，研究了Ti应力缓和层对进一步提高薄膜附着力特性的作用。采用纳米划痕仪和显微硬度计分析测试了薄膜的附着力和硬度。研究表明，金属Ti的掺杂有利于DLC薄膜附着力特性的改善，但对硬度有一定的影响。Ti应力缓和层的导入进一步改善了Ti-DLC薄膜的附着力特性，使其达到或超过了TiN薄膜的水平，对于附着力的改善T
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