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讨论了CuxS薄膜注入氮离子对薄膜特性的影响.铜硫化合物薄膜经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现,氮离子束注入引起了CuxS薄膜中铜与硫成分的改变,明显观察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大.透射光谱分析对比证实确有新的CuxS状态出现.
由离子注入引起的CuxS薄膜的状态变化
【摘 要】
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讨论了CuxS薄膜注入氮离子对薄膜特性的影响.铜硫化合物薄膜经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现,氮离子束注入引起了CuxS薄膜中铜与硫成分的改变,明显观察到样品中的铜对硫的比
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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2004年期
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