【摘 要】
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】ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小
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】ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
】 ZSH-Ⅲ Automatic Dicing Scribing Machine is used for semiconductor manufacturing enterprises precision special equipment. This paper introduces the design idea, design scheme, main technical key, main technical parameters and existing problems of ZSH-Ⅲ automatic wheel dicing saw. The device has been small batch production.
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