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日本三菱电机公司利用选择吸附脱除空气中氮的变压吸附式氧发生装置来生产氧浓度高的富氧空气，并利用它作为臭氧的原料，从而实现了节省占地面积(比该公司以往减少15％)和世界上耗电量最少(比该公司以往减少25％)的目标。该公司已从1987年1月12日起开始销售6种“三菱变压吸附式富氧型臭氧化发生装置”[OT—10E(PSAO2)，臭氧发生量10公斤/时～OT-60E，(PSAO2)，具氧发生量60公斤／小时]。