微机电系统的构成及其关键技术

来源 :机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:syhlgs
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一,是21世纪最有前途的产业之一.概述了微机电系统的定义与构成,讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作了展望.
其他文献
第一,进一步明确财政政策的定位,促其效应最大化。财政政策要发挥的作用应区别短期和长期来分析,短期立足于宏观调控,按照积极财政政策的内涵,通过减收和增支来调节供需总量
<正> 有这样一堂美术写生课《蔬果写生》,教师为改变传统教学方式,安排了一个接力游戏,要求学生蒙着眼睛你一笔我一笔“瞎画”完成“集体创作”——《水果乐园》。学生们乐倒
期刊
目的探讨肺栓塞患者溶栓和抗凝治疗的护理体会。方法 32例肺栓塞患者中12例行尿激酶2 h溶栓治疗,20例行低分子肝素钙(速避凝)序贯口服华法令抗凝治疗。结果 32例患者中治愈29例
研究香辛料精油复配的抑菌效果。利用丁香、肉桂、豆蔻、孜然、茴香5种香辛料分别对大肠杆菌、金黄色葡萄球菌、啤酒酵母、黑曲霉菌单一精油的抑菌试验;丁香、肉桂及二者复配
在管道清洗技术中,清洗工艺及清洗器的正确设计是清洗工作的关键,通过实验研究,开发出了具有较高清洗效率的连续清洗工艺及专用清洗器,介绍了连续清洗工艺的特点及流程,这种
本文对当前经济形势下低值易耗品内部控制工作进行了简要分析,采用利克特问卷调查方法,以中国人民银行部分中心支行为研究对象,通过实证研究方法完成低值易耗品内部控制的数据化
基础教育改革发展与成功的关键是教师,而成就教师成长的关键又在于其专业的发展。在界定相关概念的基础上,以乌鲁木齐市天山区为例,对小学英语教师专业化发展现状进行调查,指出存
注射用万古霉素对葡萄球菌属包括金葡萄菌和凝固酶阴性葡萄球菌中甲氧西林敏感及耐药菌株,各种链球菌、肺炎链球菌及肠球菌属等多数革兰阳性菌有良好抗菌作用,临床上用于葡萄球
建设武汉城市圈,是提升湖北经济实力、实现中部崛起宏伟目标的战略举措.实施这一战略举措应当有重点、分步骤推进,而武鄂黄核心圈建设具有突破口的作用和重要的示范意义.本文
本文阐述在工业生产控制系统中,要改善恶劣环境对控制系统控制性能的影响,必须采用各种有效的防范措施提高控制系统运行可靠性。提出了正确的接地方法是抑制噪声和防止控制系