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微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一,是21世纪最有前途的产业之一.概述了微机电系统的定义与构成,讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作了展望.
微机电系统的构成及其关键技术
【摘 要】
：
微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一,是21世纪最有前途的产业之一.概述了微机电系统的定义与构成,讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作
【机 构】
：
武汉理工大学机电工程学院
【出 处】
：
机械
【发表日期】
：
2005年1期
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