一种掩埋式复眼微透镜阵列

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模仿生物复眼,采用光刻离子交换法,在球面玻璃基片中制作了折射率呈三维梯度变化、排列紧密和光学性能良好的微透镜阵列。单元微透镜孔径呈正六角形,光斑大小为4.92μm,相邻透镜元中心距为0.5mm,掩埋透镜高为0.194mm。微透镜阵列具有对称均匀的光学特性,截距自中心至边缘逐渐变小,数值孔径(N.A.)自中心向边缘逐渐变大,填充因子(FF)接近100%,能模仿复眼的部分光学特性。 Mimic biological compound eye, the use of photolithographic ion exchange method, made in the spherical glass substrate refractive index showed a three-dimensional gradient changes, closely packed and good optical performance of the microlens array. The aperture of the unit micro-lens is a hexagonal shape, the spot size is 4.92 μm, the center distance of the adjacent lens elements is 0.5 mm, and the height of the buried lens is 0.194 mm. The microlens array has symmetrical and uniform optical characteristics. The intercept decreases gradually from the center to the edge. The numerical aperture (NA) gradually increases from the center to the edge, and the fill factor (FF) approaches 100%.
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