【摘 要】
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光化学蚀刻(PCM)是指利用摄影技术生成的掩膜,通过选择性化学侵蚀生产无毛刺、无应力的平整金属元件的工程生产技术。金属加工目前主要有几种手段:蚀刻、冲压、激光、CNC、线
【机 构】
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宁波东盛集成电路元件有限公司,宁波太古新材料科技有限公司
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光化学蚀刻(PCM)是指利用摄影技术生成的掩膜,通过选择性化学侵蚀生产无毛刺、无应力的平整金属元件的工程生产技术。金属加工目前主要有几种手段:蚀刻、冲压、激光、CNC、线切割、电脉冲等,而蚀刻加工与其它加工手段相比有很多优点:可加工绝大部分金属及合金;加工精度高;可加工形状复杂的元件;加工过程中无应力产生;加工成本较低廉;工艺灵活,大型或小型生产均可;产品无任何毛刺;对被加工材料的主要性能无影响;光刻工具价格低廉;光刻工具易于改进等,因此广泛应用于各类金属加工中。
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