【摘 要】
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这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层,作成硅膜片,从而提高了压力灵敏度。
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这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层,作成硅膜片,从而提高了压力灵敏度。将扩散电阻层组合成惠斯通电桥,然后将压力转换成电信号再进行处理。
The semiconductor pressure sensor (FPM-05G) introduced here is compact, light weight and high precision. Semiconductor pressure sensors make use of the piezoresistive effect of silicon. Diffusion in the silicon wafer to form a resistive layer, made of silicon film, thereby increasing the pressure sensitivity. The diffusion resistance layers are combined into a Wheatstone bridge, which is then converted to electrical signals for further processing.
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