【摘 要】
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物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性,这正是纳米科技发展的基础之一.要想探索在纳米尺度下材料物理性质的变化规律及可能的应用领域,离不开相应的技术手段.微
【机 构】
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中国科学院物理研究所凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所凝聚态物理国
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物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性,这正是纳米科技发展的基础之一.要想探索在纳米尺度下材料物理性质的变化规律及可能的应用领域,离不开相应的技术手段.微纳米加工技术作为当今高技术发展的重要技术领域之一,是实现功能人工纳米结构与器件微纳米化的基础.本文根据几个不同的应用领域,介绍了微纳米加工技术在纳米物理与器件研究领域的应用.
Material at the nanoscale may exhibit different physical properties with the bulk material, which is one of the foundations of the development of nanotechnology.If you want to explore changes in the physical properties of the material at the nanoscale and the possible applications, can not do without As one of the important technical fields of high-tech development.It is the basis for the realization of functional nanostructures and device micro-nanocrystallization.In this paper, based on several different application fields, the micro-nano processing technology Application of Nanophysics and Device Research.
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