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本文研究了工业硅中微量杂质元素Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｍｎ电感耦合等离子体原子发射光谱（ＩＣＰ－ＡＥＳ）的测定方法。样品以ＨＮＯ３、ＨＦ和高ＨＣｌＯ４溶解，蒸干，用盐酸浸取，定容，在选定的仪器条件和测定介质上测定结果。该法简便、快速、准确，选用多元素测定方式，可以同时测定这５种元素的结果，这５种元素的回收率在９３．９％－１０３．９％之间，相对标准偏差在１．３％－４．０％之间。