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对铟锡氧化物（ＩＴＯ）靶材的现有生产工艺方案和应用现状及前景作了综合评述．提出了ＩＴＯ靶材成形的新方案——动态成形技术
铟锡氧化物 (ITO) 靶材的应用和制备技术
【摘 要】
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对铟锡氧化物（ＩＴＯ）靶材的现有生产工艺方案和应用现状及前景作了综合评述．提出了ＩＴＯ靶材成形的新方案——动态成形技术
【机 构】
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昆明理工大学材料工程系
【出 处】
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昆明理工大学学报
【发表日期】
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1997年01期
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