【摘 要】
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几种不同的检测方法 对CD-R和DVDR盘片的生产而言,了解盘片上预 刻槽的几何形貌参数(深度和宽度)是非常重要的。目 前,存在三种完全不同的方法来检测这类参数,它们 是:原子力
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几种不同的检测方法 对CD-R和DVDR盘片的生产而言,了解盘片上预 刻槽的几何形貌参数(深度和宽度)是非常重要的。目 前,存在三种完全不同的方法来检测这类参数,它们 是:原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM) 测量;衍射级次的评价(例如Steag ETA Optik公司的 ETA-FI检测仪就是基于该原理而进行检测的);对零级
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