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初步构建了波导型等离子体限幅器,分析了低功率波入射条件下限幅器的传输特性;结合波动方程、带电粒子的传输方程以及波尔兹曼方程,构建了基于多物理的考察高功率微波入射条件下等离子体限幅器击穿过程的物理数学模型,并利用这一模型考察了限幅器中气体为Ar气、初始气压为10Torr,入射波频率为2.45GHz、功率为200w的高功率微波入射条件下,等离子体状态的演变和微波传输特性的变化过程,通过与文献的比较。验证了模型和结果的准确性。