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使用磁控溅射法来对超薄BaTiO3的铁电薄膜进行制备,对电子隧穿的过程进行分析,将电流和电压所绘制出的曲线进行拟合,对单极性开关和双极性开关的工作原理进行分析和讨论。通过数据结果可以得知:在Pt/BaTiO3/Pt隧道结中含有三种不同类型的物理机制,分别为Schottky发射、SCLC机制、P-F发射。