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硅基铁电存储器是通过硅加工工艺在半导体集成电路中集成铁电体材料制成的新型存储器。这种新兴的存储器是铁同集成系统ＦＳＭＩＳ的一个重要应用。有望在低操作电压、低功耗、高存储密度、优异的非挥发存储性能等多方面超出单纯的半导体存储器，并很可能成为２１世纪重要的信息存储技术。
硅基铁电信息存储技术
【摘 要】
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硅基铁电存储器是通过硅加工工艺在半导体集成电路中集成铁电体材料制成的新型存储器。这种新兴的存储器是铁同集成系统ＦＳＭＩＳ的一个重要应用。有望在低操作电压、低功耗、高存储密
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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电子科技导报
【发表日期】
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1999年9期
【基金项目】
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国家“九五”科技攻关项目,国家自然科学基金
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