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半导体仪器在各个领域得到了广泛应用,但制造半导体仪器所需要的高温导热材料仍然是一个迫切需 要解决的问题,以AIN为基质的陶瓷,使用各种活性添加剂,对陶瓷性能有显著影响,以Y2O3为添加剂的AIN 陶瓷具有良好导热性与电物理性能。
氮化铝陶瓷
【摘 要】
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半导体仪器在各个领域得到了广泛应用,但制造半导体仪器所需要的高温导热材料仍然是一个迫切需 要解决的问题,以AIN为基质的陶瓷,使用各种活性添加剂,对陶瓷性能有显著影响,
【出 处】
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国外耐火材料
【发表日期】
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2004年期
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