【摘 要】
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采用溅射法制备的纳米结构CuO为敏感电极,钇稳定氧化锆（YSZ）为固体电解质制成了一种混合位型NO2传感器。采用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分别表征了CuO敏感电极的相组成
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采用溅射法制备的纳米结构CuO为敏感电极,钇稳定氧化锆（YSZ）为固体电解质制成了一种混合位型NO2传感器。采用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分别表征了CuO敏感电极的相组成和微观形貌。研究了Cu的不同溅射时间对CuO敏感电极微观结构及传感器敏感性能的影响。结果表明,CuO颗粒随着Cu溅射时间的增长而增大,制成的传感器在600～700℃范围内对25～400mL/m3的NO2具有较好的敏感性能,传感器响应信号与NO2浓度的对数呈现良好的线性关系,其中60min,Cu传感器在650℃时灵敏度
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