【摘 要】
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文章主要研究影响光栅尺测量精度的因素,探索提高测量精度的途径。通过研究影响光栅尺测量精度的因素分析了其静态误差模型;然后,通过设计可调的光栅尺误差检测平台并结合优
【机 构】
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广东工业大学广东省微纳加工技术与整备重点实验室
【基金项目】
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广东省科技计划(2013B011301005);东莞市产学研项目(2013509109101);国家自然科学基金(51305084)
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文章主要研究影响光栅尺测量精度的因素,探索提高测量精度的途径。通过研究影响光栅尺测量精度的因素分析了其静态误差模型;然后,通过设计可调的光栅尺误差检测平台并结合优化的测量方案对各个测量点进行了大量的误差检测,并分析了各个测量点测量误差的统计特性,再对检测结果进行正态分布检验,获得了较为准确真实的光栅尺测量误差曲线,验证了其静态误差模型;最终在光栅尺数显系统分别采用全程线性补偿及分段线性补偿方法对光栅尺测量误差进行修正。实验结果经第三方计量机构检测表明：经一次全程线性补偿后,在直线光栅尺90mm测量长度内,
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