【摘 要】
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面向我国互联网+、云计算数据中心及超级计算机建设中战略性高性能无源光电子材料与器件的迫切需求,本文提出要以掌握自主知识产权的新型硅基无源材料及器件为目标,以复杂多
【机 构】
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河南仕佳光子科技股份有限公司,中国科学院半导体研究所,武汉光迅科技股份有限公司,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
【基金项目】
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国家重点研发计划项目(2016YFB0402500和2016YFB0402504)
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面向我国互联网+、云计算数据中心及超级计算机建设中战略性高性能无源光电子材料与器件的迫切需求,本文提出要以掌握自主知识产权的新型硅基无源材料及器件为目标,以复杂多功能集成芯片技术为牵引,着力解决低损耗、跨周期大范围波长可调谐滤波器设计与材料制备;电光复合波导中锗硅异质外延材料双效应互耦合增强机理,极高速率调制器电光转换效率、能耗;多功能集成多层光交叉连接器顶层波导低温沉积技术、多层光波导高效耦合和隔离设计及制备;硅基超小型、低损耗、热不敏感无源合波器原理、工艺及产业化;光栅耦合器、滤波器和微电子器件的融合
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