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1 当前集成电路(IC)及平板显示模块(FPD)生产的洁净室面积及型式IC生产需要较多的洁净室面积,新兴起的FPD生产,当前主要是薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD),更是后来居上.这些产品生产需要大量的洁净室面积都是由生产工艺特点的要求以及规模经济情况决定的.
当前电子产品生产的洁净室面积及空调冷负荷大户
【摘 要】
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1 当前集成电路(IC)及平板显示模块(FPD)生产的洁净室面积及型式IC生产需要较多的洁净室面积,新兴起的FPD生产,当前主要是薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD),更是后来居上.这
【机 构】
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北京307信箱100840
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2003年3期
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