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以不同能量的碳离子注入方法得到的单晶硅片作为研究对象，利用原位纳米力学测试系统对其纳米硬度和弹性模量进行测定，在UMT-2型摩擦试验机上进行摩擦试验，利用S-3000N型扫描电镜表征其磨损后的磨痕形貌．结果表明，碳离子注入后硅片的纳米硬度和弹性模量发生变化，注入后硅片的的减摩效果和耐磨性能在0．1～0．3N载荷下得到了大幅度提高．注入前单晶硅片的磨损机制在0．1N载荷下以粘着磨损为主，在0．6N载荷下以疲劳剥落为主；注入后单晶硅片的磨损机制以粘着磨损为主．