【摘 要】
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本文提出了一台高分辩率激光扫描光刻系统的对准性能数据。该系统采用了通过成像物镜进行对准的同轴对准原理(TTL),其具有多束光路、亮场和暗场照明及高低倍放大光学系统的特
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本文提出了一台高分辩率激光扫描光刻系统的对准性能数据。该系统采用了通过成像物镜进行对准的同轴对准原理(TTL),其具有多束光路、亮场和暗场照明及高低倍放大光学系统的特点。整机的总套刻精度优于0.1μm。
This paper presents alignment performance data for a high resolution laser scanning lithography system. The system uses a coaxial alignment principle (TTL) that is aligned through an imaging objective with the characteristics of multiple beam paths, bright and dark field illumination, and high and low magnification optical systems. The total set of engraving machine accuracy better than 0.1μm.
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