Si离子辐照下Al2O3栅介质的漏电机制

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【摘要】

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【作者】

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陈曦张静朱慧平郑中山李博李多力张金晶

【出处】

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半导体技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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Al2O3栅介质 Si离子辐照输运机制弗伦克尔-普尔(FP)发射福勒-诺德海姆(FN)隧穿

【基金项目】

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国家自然科学基金面上项目(61674003,61874135);中国科学院青年创新促进会资助项目(2016113)

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