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文中采用无氟高分子辅助金属有机物沉积法（PA—MOD）在不同湿度条件下在LaAlO3单晶基底上制备了一系列YBCO超导薄膜。X射线衍射、扫描电镜和物性测量的结果表明，在成相热处理过程中气氛湿度对YBCO薄膜的结构和超导性能的有明显影响。干燥气氛成相的YBCO薄膜织构较好，表面较平整、致密，超导性能也较高，其临界超导转变温度为90．2K，77K自场下的临界电流密度（Jc）达到2MA／cm^2。