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半导体检测设备主要是检测半导体产品在生产过程中和产成后的各类性能指标是否达到设计要求。本文首先对半导体检测设备进行分类介绍;其次对我国半导体检测设备的发展现状和所面临问题进行分析;最后对我国半导体检测设备的进一步发展提出建议,以期为我国半导体检测设备的发展、产业化进程的加快提供有利的参考。
我国半导体检测设备发展现状研究
【摘 要】
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半导体检测设备主要是检测半导体产品在生产过程中和产成后的各类性能指标是否达到设计要求。本文首先对半导体检测设备进行分类介绍;其次对我国半导体检测设备的发展现状和
【机 构】
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北京市电子科技情报研究所
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2019年33期
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