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以锆的β-二酮螫合物为源,以微波等离子体化学气相淀积方法合成ZrO_2薄膜过程中,观察到不同淀积条件下出现的四种不同表面形貌。从等离子体的电子温度、电子密度和源物质的浓度等方面对几种形貌的成因进行了讨论。同时用扫描电镜观察了高温退火及等离子体退火对薄膜形貌的影响,以及不同衬底薄膜形貌的差异。
微波等离子体化学气相淀积ZrO2薄膜的表面形貌研究
【摘 要】
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以锆的β-二酮螫合物为源,以微波等离子体化学气相淀积方法合成ZrO_2薄膜过程中,观察到不同淀积条件下出现的四种不同表面形貌。从等离子体的电子温度、电子密度和源物质的浓
【机 构】
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中国科学技术大学材料科学与工程系,中国科学技术大学结构成分分析中心
【出 处】
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中国科学技术大学学报
【发表日期】
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1992年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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