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采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度．当Ar气流量为20sccm，在不同的放电电压和引出电压下，测得离子能量分布范围为400～820eV，柬流密度分布范围为7．8～52．8μA／cm^2．在O2气流量为20sccm时，沉积在不同离子能量辅助下的TiO2薄膜，研究了离子能量对于薄膜光学特性的影响，得到了折射率为2．3的薄膜，接近块状材料的折射率．