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聚焦离子束系统正成为微细加工领域的有力工具。文章简述了聚焦离子束系统的组成和工作原理，着重介绍了该系统在离子束刻蚀、离子束辅动沉积和离子注入等微米／纳米加工领域的应用，并对聚焦离予束技术的特点及未来的发展前景进行了总结和分析。
微米／纳米加工中的聚焦离子束技术
【摘 要】
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聚焦离子束系统正成为微细加工领域的有力工具。文章简述了聚焦离子束系统的组成和工作原理，着重介绍了该系统在离子束刻蚀、离子束辅动沉积和离子注入等微米／纳米加工领域的应
【机 构】
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深圳大学材料科学与工程系深圳市特种功能材料重点实验室
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2009年7期
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