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综述了用等离子体法制备碳化硅超细粉的进展，并将制备方法归纳为固－固、固－气－气反应法。评述了者为提高ＳｉＣ的纯度而作的努力。
等离子体法制备SiC超细粉的研究进展
【摘 要】
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综述了用等离子体法制备碳化硅超细粉的进展，并将制备方法归纳为固－固、固－气－气反应法。评述了者为提高ＳｉＣ的纯度而作的努力。
【机 构】
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浙江大学材料系,浙江大学材料系,杭州
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1996年2期
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