【摘 要】
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在铁磁金属中只有钴具有单轴各向异性和高磁各向异性。以钴基合金薄膜作为高磁性材料已广泛用于储存和记录元件。钴薄膜的制备一般采用真空沉积法、化学镀膜法和射频溅射法等
【机 构】
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吉林大学化学系,吉林大学化学系长春130023,长春130023,长春130023
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在铁磁金属中只有钴具有单轴各向异性和高磁各向异性。以钴基合金薄膜作为高磁性材料已广泛用于储存和记录元件。钴薄膜的制备一般采用真空沉积法、化学镀膜法和射频溅射法等。这些方法各有特点,但制备过程中基片温度较高,沉积速率低,使钴薄膜的实际应用较困难。利用表面波激发微波等离子体技术制备钴薄膜尚未见文献报道。本文采用自制微
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