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通过椭圆形（长轴为225mm，短轴为161mm）SiC平面反射镜的全口径面形加工测量实验，验证了一种新的子孔径拼接测量算法-子孔径拼接迭代算法（SASL算法）的有效性。用100mm口径平面平晶的子孔径拼接测量与全口径测量的对比实验，确定了拼接测量相关参数及测量装置的精度指标。在此基础上设计了SiC平面反射镜的子孔径拼接实验，在搭建的拼接装置上实现了5次离子束迭代加工过程和最终的全口径面形测量。加工过程中的测量结果为面形误差修正提供了准确的数据，保证了最终全口径面形误差RMS快速收敛到50nm。实验证明，S