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该微动平台采用花岗岩作为机架材料,以压电陶瓷直线电机驱动平台,选择RENISHAW的RGH25光栅作为反馈和宏微双驱动协调控制伺服输出,并提出了提高定位精度的方案。为研究微动工作台提供了参考。通过实验对工作台的性能进行分析,证实平台设计的可行性。
大行程超精密工作台的研究
【摘 要】
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该微动平台采用花岗岩作为机架材料,以压电陶瓷直线电机驱动平台,选择RENISHAW的RGH25光栅作为反馈和宏微双驱动协调控制伺服输出,并提出了提高定位精度的方案。为研究微动工
【机 构】
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台州职业技术学院机电工程学院,沈阳工业大学机械工程学院
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2010年6期
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