【摘 要】
：
该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究,以实现快速的氢气检测。传感器采用双通道差分振荡器结构,其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉
【机 构】
：
中国科学院声学研究所,中国科学院大学,航天低温推进剂技术国家重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(11774381);中科院前沿重点研发计划基金资助项目(QYZDY-SSW-JSC007);航天低温推进剂技术国家重点实验室重点科研试验基金资助项目(SYFD1502517)
论文部分内容阅读
该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究,以实现快速的氢气检测。传感器采用双通道差分振荡器结构,其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉积钯镍薄膜,通过钯镍薄膜对氢气的快速和可逆物理吸附引起声表面波传播速度的变化,进而以差分振荡器频率信号来表征待测氢气浓度。通过传感实验以确定获得快速响应的钯镍的优化厚度。结果表明,在钯镍厚为40nm时,传感器获得的响应幅度与响应速度分别达5kHz和5s。
其他文献
动漫衍生产品玩具的创新性、科技性和生活化,使其渐渐成为人们生活中的重要组成部分,它不仅是孩子们日常玩乐的伙伴,同时也成为成年人的一种生活方式,为此,越来越多的人开始
目的:分析2004-2012年中国"食品安全专项整治行动"的发生背景、实施状况及其所产生的效果,总结其发展的模式和规律,并结合中国目前和未来的经济社会发展情况,探寻解决食品安
随着我国国民经济的发展,对矿产资源的需求量快速增长,激发极化法作为一种地球物理勘探手段,已经在矿产勘察各个方面得到了广泛的应用。本文阐述了激发极化法在西藏某地铜矿
"山寨文化"是指以极低的成本模仿主流品牌产品的外观或功能,并加以创新,最终在外观、功能、价格等方面全面超越这个产品的一种现象。本文剖析了"山寨文化"产生的根源以及社会
通过理论研究与实践对比分析后发现,目前体操运动中“支撑”与‘悬垂”术语的定义缺乏科学性,不能适应日益发展的理论研究与运动实践的需要。给这两个术语下定义时,应以运动
近年来,学术界对我国风景名胜区的管理体制改革进行了积极的探讨,但景区管理体制的改革仅仅局限于对基层景区旅游资源的管理和开发利用,而旅游资源无法涵盖所有的自然与文化
为弄清采动在工作面底板岩溶陷落柱围岩破坏及突水中所起到的作用,以葛亭煤矿底板隐伏岩溶陷落柱为研究对象,采用FLAC3D数值模拟软件对采动过程中的垂直方向应力场、塑性破坏
目的探析后路长节段椎弓根螺钉固定术及后路短节段椎弓根螺钉固定术对胸腰椎骨折患者椎体前缘压缩度、Cobb角的影响。方法选取我院2015年1月~2017年12月收治胸腰椎骨折患者90
企业承担社会责任是企业与社会、政府、经济发展、生态可持续发展等方面和谐发展的枢纽性工作。企业承担社会责任,要求企业经济活动行为和方式发生重大的改变,即企业的发展目
目的 观察中医五音疗法结合中医综合护理对AECOPD患者焦虑情绪及睡眠质量、临床疗效和症状/生活质量的影响。方法 选择符合纳入标准的60例患者随机分为治疗组中医五音疗法结